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3D白光干涉成像系統

所屬分類：

讓白光干涉儀操作更簡單，更智能

優于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm

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毫米級視野，實現5nm-有機油膜厚度掃描

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納米級精度，實現微米級的深度寬度測量

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自動聚焦，自動調平，一鍵生成統計報告

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全新搭載ECT抗干擾系統，兼容生產線自動化測量

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全新人機交互軟件設計，充分提高使用便捷性

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產品簡介 核心參數

Polytec 全新光學輪廓儀 TopMap.Micro View系列產品 

全新ECT環境補償技術，配合4軸平臺自動傾斜矯正， 

完美解決傳統白光干涉聚焦問題 

噪雜的復雜環境也同樣適用！ 

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