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顯微式激光測(cè)振儀MSA-650-IRIS

所屬分類：

激光3D振動(dòng)測(cè)試

紅外穿透式，同時(shí)滿足面外振動(dòng)(OOP)和面內(nèi)振動(dòng)(IP)測(cè)試

下載目錄

mems帽進(jìn)行原理測(cè)量

顯示帶帽mems的動(dòng)態(tài)特性

捕獲的操作缺陷形狀

2軸加速度計(jì)(fhgenas)的平面運(yùn)動(dòng)分析

不同表面反射的相對(duì)強(qiáng)度貢獻(xiàn)(左)和不同光學(xué)結(jié)構(gòu)的離焦光強(qiáng)度與反射源距離的關(guān)系(右)

用于芯片級(jí)測(cè)量的探針臺(tái)集成

產(chǎn)品簡(jiǎn)介核心參數(shù)

MEMS器件的動(dòng)態(tài)特性測(cè)試和機(jī)械響應(yīng)可視化對(duì)于產(chǎn)品開發(fā)、故障排除和有限元模型驗(yàn)證來(lái)說(shuō)非常重要。Polytec公司的MSA顯微式激光測(cè)振儀能快速、準(zhǔn)確地測(cè)試顯微結(jié)構(gòu)的面外振動(dòng)(OOP)和面內(nèi)振動(dòng)(IP)。全新的MSA-650 IRIS顯微式激光測(cè)振儀甚至可以透過(guò)完整的微型硅密封器件進(jìn)行測(cè)試，如慣性傳感器，MEMS麥克風(fēng)，壓力傳感器等。

典型應(yīng)用

· 慣性傳感器，如加速度計(jì)和陀螺儀

· 微機(jī)電傳感器和致動(dòng)器 (MEMS)

· 打印機(jī)噴墨頭 · 壓力傳感器薄膜

· 耳機(jī)、微型鏡頭等

亮點(diǎn)

· 通過(guò)硅封裝器件的不同層測(cè)試MEMS動(dòng)態(tài)特性

· 實(shí)時(shí)面外振動(dòng)測(cè)試，最大帶寬高達(dá)25 MHz

· 亞皮米級(jí)面外振動(dòng)位移分辨率

· 易于集成至生產(chǎn)線上的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)(兼容商用探針臺(tái))

· 頻閃法測(cè)試面內(nèi)振動(dòng)，帶寬高達(dá)2.5 MHz

· 更好地分離器件的各個(gè)層