為高精度非接觸式光學(xué)測量儀器，采用白光干涉技術(shù)實現(xiàn) 亞納米級表面形貌檢測與分析，廣泛應(yīng)用于微納結(jié)構(gòu)表征、薄膜厚度測量及精密 元件表面質(zhì)量評估。