測量項目
先設置數據
龍門式 大行程樣品測量
龍門式 大行程樣品測量

1um重復精度，130mm掃描深度，配合500kHz的掃描頻率

靈活大行程掃描，兼容各種復雜的大型樣品測量要求

1um重復精度，130mm掃描深度，配合500kHz的掃描頻率

靈活大行程掃描，兼容各種復雜的大型樣品測量要求

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龍門式 大行程樣品測量

激光光學頻率梳原理&高速激光脈沖TOF測試方式

龍門式 大行程樣品測量

大型零部件 龍門式 大行程運動控制平臺

龍門式 大行程樣品測量

超大型龍門式 移動掃描

龍門式 大行程樣品測量

同軸落射的掃描方式，無懼復雜結構的遮擋，滿足大視野掃描需求

龍門式 大行程樣品測量

微米級精度下，無需拼接，最大130mm深度掃描

龍門式 大行程樣品測量

三豐標準塊下，滿足10um臺階測量


龍門式 大行程樣品測量

激光光學頻率梳原理&高速激光脈沖TOF測試方式

龍門式 大行程樣品測量

大型零部件 龍門式 大行程運動控制平臺

龍門式 大行程樣品測量

超大型龍門式 移動掃描



龍門式 大行程樣品測量

同軸落射的掃描方式，無懼復雜結構的遮擋，滿足大視野掃描需求

龍門式 大行程樣品測量

微米級精度下，無需拼接，最大130mm深度掃描

龍門式 大行程樣品測量

三豐標準塊下，滿足10um臺階測量