測量項目
先設置數據
融合2D/D缺陷判別測量
融合2D/D缺陷判別測量

激光光學頻率梳掃描，搭載高速CCD相機

適用復雜結構面 全自動缺陷及形貌3D測量


激光光學頻率梳掃描，搭載高速CCD相機

適用復雜結構面 全自動缺陷及形貌3D測量

查看更多

收起

融合2D/D缺陷判別測量

激光光學頻率梳原理&高速激光脈沖TOF測試方式

融合2D/D缺陷判別測量

2D 視覺高速拍攝&定位

融合2D/D缺陷判別測量

500kHz激光掃描頻率，同步掃描3D輪廓形貌

融合2D/D缺陷判別測量

同軸落射掃描原理，無懼“遮擋”等復雜結構

融合2D/D缺陷判別測量

2D視覺捕獲缺陷圖片

融合2D/D缺陷判別測量

微米級精度，激光掃描3D缺陷形貌


晶圓耦合高精度定位

激光光學頻率梳原理&高速激光脈沖TOF測試方式

晶圓耦合高精度定位

2D 視覺高速拍攝&定位


晶圓耦合高精度定位

500kHz激光掃描頻率，同步掃描3D輪廓形貌

晶圓耦合高精度定位

同軸落射掃描原理，無懼“遮擋”等復雜結構

晶圓耦合高精度定位

2D視覺捕獲缺陷圖片


晶圓耦合高精度定位

微米級精度，激光掃描3D缺陷形貌